Пропустите к главному содержанию
Мощный просвечивающий микроскоп высокого разрешения.
Совершенный микроскоп, совмещающий атомарное разрешение и дружественный пользовательский интерфейс.
Интегрированные средства компьютерного контроля и цифровые камеры позволяют выполнять различные функции по обработке изображений.
Проверенная технология высокого напряжения Hitachi позволяет выполнить быстрый автоматический запуск всей системы.
Исключительно стабильный держатель с 5 степенями свободы, возможностью автоматической навигации и запоминанием маршрута образца.
Данный сканирующий просвечивающий микроскоп, оборудованный корректором сферической аберрации, который был разработан совместно с компанией «CEOS GmbH» (Германия, исполнительный директор: доктор Макс Хайдер), значительно превосходит возможности обычных сканирующий просвечивающих микроскопов и может быть использован для исследований в области нано технологий. Благодаря коррекции сферической аберрации, которая ограничивала производительность электронных микроскопов, было достигнуто разрешение в 1,5 раза выше и ток в 10 раз выше, чем в стандартных моделях микроскопов.
HT-7700 открывает новый этап в развитии ПЭМ, когда исследования проводятся без прямого наблюдения за флуоресцентным экраном. Модифицированная конструкция микроскопа позволяет работать с наноразмерными материалами и биологическими объектами. Улучшенная объективная линза создает изображения большего разрешения со сверхвысоким контрастом для большинства исследуемых объектов. Результаты работы просвечивающего электронного микроскопа отображаются на экране ЖК-монитора, при этом для поиска исследуемого образца вместо бинокулярного микроскопа используется ПЗС (CCD)-камера в режиме реального времени. Таким образом, оператор может видеть результаты исследований при обычном комнатном освещении.
Установка ионного травления сфокусированным ионным пучком позволяет быстро подготовить образцы для последующего исследования на просвечивающих и сканирующих электронных микроскопах. Обладает высокой скоростью травления за счет ускоряющего напряжения до 40 кВ. Возможно непосредственное получение микропроб с использованием запатентованной технологии Hitachi “Micro-sampling” (поставляется отдельно).
Держатель образца совместим со следующими моделями микроскопов: HD-2700, HF-3300, H-9500 и S-5500. (Необходимо выбрать общий предметный столик).
Как никакой другой сканирующий микроскоп в мире... Мировой рекорд разрешения – 0,4 нм при ускоряющем напряжении в 30 кВ.
Уникальный фильтр Super ExB дает высококонтрастные изображения, полученные смещением сигналов от вторичных и обратно-рассеянных электронов.
Новейший детектор Duo-STEM позволяет одновременно получать изображение смешением сигналов светлого и темного поля (BF/DF). Изменяемый угол рассеивания в режиме DF STEM (опционально).
Сканирующий автоэмиссионный электронный микроскоп сочетает в себе сверхвысокое разрешение, характерное для in-lens микроскопов, с возможностью изучения образцов больших размеров.
Возможность использования стандартных 6-дюймовых или 8-дйюмовых (опционально) пластин для неразрушающих исследований.
Исследование изображений для различных целей выполняется с помощью фильтра Super ExB, который представляет собой выборочное смешение сигналов от одного детектора.
Возможность исследовать образцы при низком ускоряющем напряжении от 100 В без потери сверхвысокого разрешения при замедляющей функции (опционально) (для ArF исследований или исследований с использованием тонкопленочных диэлектриков с малым коэффициентом k).
SU6600 – новейшая разработка Хитачи, автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения для аналитических исследований. Позволяет менять давление в камере образца и работать с любыми типами влажных, масляных и загрязненных образцов.
Оснащен электронной пушкой с термополевым катодом Шоттки, что в комбинации с системой ADAPT (автоматический ввод дифференциальной диафрагмы для работы в режиме низкого вакуума) позволяет создать ток зонда более 200 нА; это в 10 раз больше, чем в микроскопах других производителей, где используется термоэмиссия. Большая рабочая камера позволяет одновременно размещать в ней аналитические приставки EDS, WDS, EBSP и CL с сохранением начального рабочего расстояния.
Модель SU-70 – это новая концепция сканирующих электронных микроскопов, в которой для достижения ультра высокого разрешения используется электронная пушка с катодом Шоттки и проверенная временем технология semi-in-lens. Данный микроскоп характеризуется не только ультравысоким разрешением (1 нм при ускоряющем напряжении 15 кВ, 1,6 нм* при ускоряющем напряжении 1 кВ), но и возможностью исследования изображений со сниженным зарядом, изображений с контрастной структурой, изображений при ультранизком ускоряющем напряжении*, используя достоинства Super ExB фильтра. Электронная пушка с катодом Шоттки позволяет работать с широким набором детекторов (EDX*, WDX*, EBSP* и т.д.) благодаря току образца в 100 нА. (*дополнительная комплектация).
Сканирующий электронный микроскоп для изучения крупных и тяжелых образцов. Крупные образцы до 300 мм в диаметре.
Область, доступная для наблюдения, до 203 мм в диаметре.
Исследования и электронный анализ образцов до 110 мм высотой.
Возможность использования различных аналитических приложений.
Еще более удобный и простой в работе сканирующий электронный микроскоп, в котором применяются новые функции автоматизации и новая электронная оптика.
Революционная функция автоматического выравнивания осей.
Автоматическая регулировка луча по осям.
Еще лучшее разрешение в 10 нм при ускоряющем напряжении 3 кВ.
Система удаления TMP, благодаря которой экономится место и потребляемая энергия.
Компактный и высокоэффективный.
На 20% меньше по размеру, чем стандартные современные модели Стандартный режим VP.
Разрешение 3 нм при ускоряющем напряжении 30 кВ, разрешение 4 нм при работе с обратно-рассеянными электронами.
Возможность исследований образцов до 153 мм в диаметре и до 60 мм в высоту.
Возможность использования двух симметричных EDX детекторов.
Компактный настольный микроскоп, который станет вашим пропуском в стереоскопический микронный мир. Энергосберегающая конструкция и небольшой размер.
Удобство и простота в работе.
Для исследования непроводящих образцов не требуется наносить специальное покрытие.
Стереоскопические структурные исследования с большой глубиной резкости.
Модель N-6000 – это нано-измерительный инструмент на основе сканирующего электронного микроскопа для устройств, изготовленных по 90-65-45 нм нормам. Оборудованная высокоточными пьезо-приводами, система N-6000 напрямую соприкасается с мельчайшими образцами прямо в цепи устройства, благодаря чему можно измерить электрические характеристики таких субмикронных электрических структур, как МОП-транзистор, межкомпонентное соединение и т.д. Задача N-6000 – это реализовать операционное окружение оптико-механической измерительной установки: интуитивно понятная работа в атмосфере, в вакууме электронного микроскопа. В действительности, работать с N-6000 также легко, как и с оптико-механической измерительной установкой, и вы не будете чувствовать неудобств при работе в вакууме.
Сканирующий электронный микроскоп ультравысокого разрешения с функцией литографии.
Сдвиг изображения (луча): 100 м.
6 способов размещения образцов.
CCD камеры сверху и по бокам (для грубого выравнивания образца).
Вспомогательный предметный столик.
Шлюзовое устройство для замены образца.
С помощью этого прибора можно получить образцы в поперечном сечении, обработанные до зеркального состояния. Пучок ионов, который параллелен защитной перегородке, обеспечивает гладкое сечение.
Маленькие бороздки и искажения, вызванные механическим разрезанием и полировкой, могут быть уменьшены или полностью устранены.
Отделяемый предметный столик для легкой установки образцов.
Дополнительные ссылки
