Нано-механические измерительные системы

Мощный просвечивающий микроскоп высокого разрешения.
Совершенный микроскоп, совмещающий атомарное разрешение и дружественный пользовательский интерфейс
Интегрированные средства компьютерного контроля и цифровые камеры позволяют выполнять различные функции по обработке изображений
Проверенная технология высокого напряжения Hitachi позволяет выполнить быстрый автоматический запуск всей системы
Исключительно стабильный держатель с 5 степенями свободы, возможностью автоматической навигации и запоминанием маршрута образца

Данный сканирующий просвечивающий микроскоп, оборудованный корректором сферической аберрации, который был разработан совместно с компанией «CEOS GmbH» (Германия, исполнительный директор: доктор Макс Хайдер), значительно превосходит возможности обычных сканирующий просвечивающих микроскопов и может быть использован для исследований в области нано технологий. Благодаря коррекции сферической аберрации, которая ограничивала производительность электронных микроскопов, было достигнуто разрешение в 1,5 раза выше и ток в 10 раз выше, чем в стандартных моделях микроскопов.

HD-2300A является представителем третьего поколения сканирующий просвечивающих микроскопов (STEM) с ускоряющим напряжением 200 кВ, который соединяет в себе точность просвечивающих микроскопов и простоту в работе. В качестве электронной пушки используется катод Шоттки или автоэмиссионный катод. Автоматические функции юстировки упрощают центрирование луча, фокусировку и коррекцию астигматизма. С помощью опциональной системы EELS (спектроскопия энергетических потерь электронов) можно проводить высокочувствительный анализ методом энергетической дисперсии, и получать карты распространения в реальном времени легких элементов. Дополнительно установив дифракционную камеру, можно одновременно наблюдать изображение и дифракционную картину.

H-7650 – это высокопроизводительный цифровой просвечивающий микроскоп с интегрированной высокочувствительной цифровой камерой, которая установлена ниже отсека пленочной камеры. Таким образом, возможно прямое создание изображение при такой мощности луча, которой было бы недостаточно, чтобы привести в действие традиционную систему создания изображения на люминесцентном экране, что гарантирует минимальный ущерб от луча для чувствительных образцов. H-7650 оснащен одним компьютером и одним монитором. В комплект поставки также включена комплексная система обработки изображения и система управления данными изображения.

Эта уникальная система позволяет невероятно быстро подготовить образцы для последующего исследования на просвечивающих и сканирующий просвечиваемых микроскопах.
Высокая скорость травления с ускоряющим напряжением до 40 кВ
Непосредственное извлечение микро-проб с использованием запатентованной технологии Hitachi «Micro-sampling» (поставляется отдельно)
Держатель образцов, совместимый со следующими моделями микроскопов: HD-2700, HD-2300A, H-9500 и S-5500. (Необходимо выбрать общий предметный столик.)

Как никакой другой сканирующий микроскоп в мире... Мировой рекорд разрешения – 0,4 нм при ускоряющем напряжении в 30 кВ
Уникальный фильтр Super ExB дает высококонтрастные изображения, полученные смещением сигналов от вторичных и обратно-рассеянных электронов
Новейший детектор Duo-STEM позволяет одновременно получать изображение смешением сигналов светлого и темного поля (BF/DF). Изменяемый угол рассеивания в режиме DF STEM (опционально).

Сканирующий автоэмиссионный электронный микроскоп сочетает в себе сверхвысокое разрешение, характерное для in-lens микроскопов, с возможностью изучения образцов больших размеров.
Возможность использования стандартных 6-дюймовых или 8-дйюмовых (опционально) пластин для неразрушающих исследований
Исследование изображений для различных целей выполняется с помощью фильтра Super ExB, который представляет собой выборочное смешение сигналов от одного детектора
Возможность исследовать образцы при низком ускоряющем напряжении от 100 В без потери сверхвысокого разрешения при замедляющей функции (опционально) (для ArF исследований или исследований с использованием тонкопленочных диэлектриков с малым коэффициентом k)

S-4300 обладает превосходным разрешением в 1,5 нм при ускоряющем напряжении 15 кВ и просто поразительным разрешением в 5 нм всего лишь при напряжении 1 кВ. В микроскоп также встроена интегральная система управлением обработки и архивированием изображений, которая позволяет выводить на экран до 40 миниатюрных изображений.

Модель SU-70 – это новая концепция сканирующих электронных микроскопов, в которой для достижения ультра высокого разрешения используется электронная пушка с катодом Шоттки и проверенная временем технология semi-in-lens. Данный микроскоп характеризуется не только ультравысоким разрешением (1 нм при ускоряющем напряжении 15 кВ, 1,6 нм* при ускоряющем напряжении 1 кВ), но и возможностью исследования изображений со сниженным зарядом, изображений с контрастной структурой, изображений при ультранизком ускоряющем напряжении*, используя достоинства Super ExB фильтра. Электронная пушка с катодом Шоттки позволяет работать с широким набором детекторов (EDX*, WDX*, EBSP* и т.д.) благодаря току образца в 100 нА. (*дополнительная комплектация)

Сканирующий электронный микроскоп для изучения крупных и тяжелых образцов. Крупные образцы до 300 мм в диаметре
Область, доступная для наблюдения, до 203 мм в диаметре
Исследования и электронный анализ образцов до 110 мм высотой
Возможность использования различных аналитических приложений

Еще более удобный и простой в работе сканирующий электронный микроскоп, в котором применяются новые функции автоматизации и новая электронная оптика.
Революционная функция автоматического выравнивания осей
Автоматическая регулировка луча по осям
Еще лучшее разрешение в 10 нм при ускоряющем напряжении 3 кВ
Система удаления TMP, благодаря которой экономится место и потребляемая энергия

Компактный и высокоэффективный
На 20% меньше по размеру, чем стандартные современные модели Стандартный режим VP
Разрешение 3 нм при ускоряющем напряжении 30 кВ, разрешение 4 нм при работе с обратно-рассеянными электронами
Возможность исследований образцов до 155 мм в диаметре и до 60 мм в высоту
Возможность использования двух симметричных EDX детекторов

Компактный настольный микроскоп, который станет вашим пропуском в стереоскопический микронный мир. Энергосберегающая конструкция и небольшой размер
Удобство и простота в работе
Для исследования непроводящих образцов не требуется наносить специальное покрытие
Стереоскопические структурные исследования с большой глубиной резкости

Модель N-6000 – это нано-измерительный инструмент на основе сканирующего электронного микроскопа для устройств, изготовленных по 90-65-45 нм нормам. Оборудованная высокоточными пьезо-приводами, система N-6000 напрямую соприкасается с мельчайшими образцами прямо в цепи устройства, благодаря чему можно измерить электрические характеристики таких субмикронных электрических структур, как МОП-транзистор, межкомпонентное соединение и т.д. Задача N-6000 – это реализовать операционное окружение оптико-механической измерительной установки: интуитивно понятная работа в атмосфере, в вакууме электронного микроскопа. В действительности, работать с N-6000 также легко, как и с оптико-механической измерительной установкой, и вы не будете чувствовать неудобств при работе в вакууме.
Сканирующий электронный микроскоп ультравысокого разрешения с функцией литографии
Сдвиг изображения (луча): 100 м
6 способов размещения образцов
CCD камеры сверху и по бокам (для грубого выравнивания образца)
Вспомогательный предметный столик
Шлюзовое устройство для замены образца

С помощью этого прибора можно получить образцы в поперечном сечении, обработанные до зеркального состояния. Пучок ионов, который параллелен защитной перегородке, обеспечивает гладкое сечение.
Маленькие бороздки и искажения, вызванные механическим разрезанием и полировкой, могут быть уменьшены или полностью устранены
Отделяемый предметный столик для легкой установки образцов